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專家觀點:半導(dǎo)體行業(yè)啟動“材料時代”勝過光刻機

   時間:2023-12-27 16:58

【網(wǎng)界科技】12月27日消息,半導(dǎo)體行業(yè)近20多年來的發(fā)展一直受到光刻領(lǐng)域的特殊設(shè)備的主導(dǎo),但業(yè)內(nèi)專家如今預(yù)測,未來的10年將迎來一個全新的“材料時代”。

美國耗材供應(yīng)商Entegris的首席技術(shù)官詹姆斯·奧尼爾(James O'Neill)表示,半導(dǎo)體行業(yè)已經(jīng)從過去主要依賴光刻設(shè)備實現(xiàn)技術(shù)進步的時代轉(zhuǎn)向了更加注重先進材料和清洗解決方案,這將成為未來半導(dǎo)體行業(yè)生產(chǎn)率提升的關(guān)鍵。

奧尼爾指出,材料領(lǐng)域的創(chuàng)新將成為推動半導(dǎo)體元件生產(chǎn)的關(guān)鍵因素。他舉例說,當(dāng)前生產(chǎn)3D晶體管芯片就像使用直升機將化學(xué)品和各種耗材噴涂到建筑物上一樣,如何精確控制涂層的均勻性將成為未來半導(dǎo)體高精度加工的決定性問題。

與此同時,默克集團電子業(yè)務(wù)總經(jīng)理凱·貝克曼(Kai Beckmann)也表達了對這一觀點的支持,他表示未來的10年將是“材料時代”。雖然他承認(rèn)光刻工具仍然非常重要,但他指出,材料現(xiàn)在才更為重要,這一觀點適用于邏輯芯片和存儲芯片。

在新一代化學(xué)品的開發(fā)中,關(guān)鍵問題之一是能夠?qū)柙剡M行高精度加工,這些加工實際上在原子水平上發(fā)生。此外,溶液的純度對芯片生產(chǎn)中的錯誤率有直接影響,因此對溶液質(zhì)量的要求也愈發(fā)重要。

需要指出的是,目前半導(dǎo)體芯片主要使用銅作為導(dǎo)體,但隨著尺寸的縮小,半導(dǎo)體行業(yè)正在積極探索新材料,如鉬等,這一探索過程已經(jīng)影響了整個半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展進程。

盡管這一領(lǐng)域需要大量投資,使新進入者難以在市場上立足,但Entegris首席執(zhí)行官貝特朗·洛伊(Bertrand Loy)認(rèn)為,半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展方向?qū)⒗^續(xù)由現(xiàn)有的市場主導(dǎo)力量決定。

 
 
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