在步入蛇年的新春之際,一則關(guān)于全球半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的重要資訊引起了廣泛關(guān)注。據(jù)悉,光刻膠這一芯片制造不可或缺的關(guān)鍵材料,其市場(chǎng)竟有高達(dá)90%的份額被日本企業(yè)牢牢把控,這一比例即便是歐美國(guó)家也難以企及。光刻膠的如此高度壟斷,不禁令人擔(dān)憂,若未來(lái)遭遇斷供,是否會(huì)成為中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“扼喉之痛”?
光刻膠,這一聽(tīng)起來(lái)與普通膠水無(wú)異的名字,實(shí)則蘊(yùn)含著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的“心臟”之秘。它并非簡(jiǎn)單的黏合劑,而是一種由感光樹(shù)脂、增感劑及溶劑等精心調(diào)配而成的感光材料。在芯片制造過(guò)程中,光刻膠如同一位精細(xì)的畫(huà)師,在硅片表面均勻涂抹,隨后通過(guò)掩膜曝光,將未受保護(hù)的區(qū)域蝕刻,最終勾勒出電路圖形的精細(xì)輪廓。
光刻膠在光刻工藝中扮演著至關(guān)重要的角色,它不僅是防腐蝕的保護(hù)層,更是確保光刻精度不可或缺的關(guān)鍵。因此,光刻膠被譽(yù)為半導(dǎo)體材料皇冠上的璀璨明珠,是半導(dǎo)體制造領(lǐng)域不可或缺的重要基石。然而,當(dāng)前全球光刻膠市場(chǎng)卻呈現(xiàn)出日本企業(yè)一家獨(dú)大的局面,尤其是在高端的ArF和EUV光刻膠領(lǐng)域,市場(chǎng)占有率更是超過(guò)90%,成為日本在全球半導(dǎo)體制造鏈中的強(qiáng)大支柱。
那么,為何這一局面遲遲未能被打破呢?追溯歷史,我們不難發(fā)現(xiàn),光刻膠與光刻機(jī)之間存在著緊密的協(xié)同效應(yīng)。上世紀(jì)80年代,美國(guó)光刻機(jī)三巨頭相繼隕落,而日本尼康和佳能卻異軍突起,成為當(dāng)時(shí)最頂尖的光刻機(jī)制造商。隨著日本光刻機(jī)的崛起,其光刻膠也順勢(shì)而為,占據(jù)了市場(chǎng)的領(lǐng)先地位。盡管后來(lái)荷蘭企業(yè)ASML成為了全球光刻機(jī)巨頭,但專注于光刻機(jī)生產(chǎn)的它并未涉足光刻膠領(lǐng)域,從而使得日本在光刻膠領(lǐng)域的壟斷地位得以延續(xù)。
面對(duì)如此嚴(yán)峻的挑戰(zhàn),中國(guó)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)并未坐以待斃。據(jù)中國(guó)海關(guān)總署數(shù)據(jù)顯示,2023年我國(guó)光刻膠進(jìn)口總額為21.77億美元,其中從日本進(jìn)口額占比高達(dá)52.8%。這一數(shù)據(jù)無(wú)疑加劇了國(guó)人對(duì)未來(lái)可能遭遇斷供的擔(dān)憂。然而,值得慶幸的是,中國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)正在迎頭趕上。雖然光刻膠作為定制化程度極高的產(chǎn)品,新玩家難以輕易進(jìn)入市場(chǎng),但隨著中國(guó)未來(lái)成熟制程晶圓代工廠的不斷擴(kuò)張,對(duì)光刻膠的研發(fā)需求也日益迫切。
目前,國(guó)內(nèi)多家企業(yè)已在光刻膠的研發(fā)和生產(chǎn)上取得了顯著進(jìn)展。例如,華中科技大學(xué)武漢光電國(guó)家研究中心團(tuán)隊(duì)創(chuàng)立的太紫微公司推出的T150A光刻膠產(chǎn)品,已可對(duì)標(biāo)國(guó)際頭部企業(yè)主流KrF光刻膠系列;廈門(mén)恒坤自主研發(fā)的KrF、ArF光刻膠也成功通過(guò)了大廠的驗(yàn)證,并實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)。這些成果不僅為中國(guó)光刻膠產(chǎn)業(yè)注入了新的活力,更為擺脫日本壟斷、實(shí)現(xiàn)自主可控奠定了堅(jiān)實(shí)基礎(chǔ)。